一种石墨盘治具的制作方法

本技术涉及半导体加工，具体是指一种石墨盘治具。

背景技术：

1、mocvd是在气相外延生长(vpe)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术；是以ⅲ族、ⅱ族元素的有机化合物和v、ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种ⅲ-v主族、ⅱ-ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

2、mocvd设备在生产外延片时需要稳定可靠的石墨盘；而石墨盘作为外延生产最重要的配件之一，在石墨盘生产加工过程中需要通过石墨盘治具承载多个石墨盘，然后进行烘烤，以生产符合要求的石墨盘。

3、但现有技术中的石墨盘治具在承载石墨盘时存在以下缺陷：(1)承载装置不可调节，只可以承载同种型号的石墨盘，导致适用性较差；(2)只能对石墨盘进行简易的承载，不能对石墨盘进行固定，从而导致石墨盘存在易倾倒的情况，稳定性较差。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的技术问题，提供一种石墨盘治具，可适用于不同型号的石墨盘使用，且稳定性较好。

2、本实用新型提供的技术方案为：一种石墨盘治具，包括第一立板和第二立板，所述第一立板和第二立板底部均固定连接有支撑板，所述第一立板和第二立板之间通过多个承载柱连接，所述承载柱上设有承载石磨盘的多个承载槽，所述承载柱上位于承载槽两侧均设有夹持组件。

3、作为本实用新型进一步的改进，所述承载柱一端固定连接有转轴，所述转轴一端通过轴承与第二立板转动连接，所述第二立板上设有供轴承安装的轴承槽。

4、作为本实用新型进一步的改进，所述承载柱通过螺栓与第一立板紧固连接，所述螺栓贯穿通过第一立板且与承载柱螺纹连接。

5、作为本实用新型进一步的改进，所述第一立板上设有供螺栓通过的通孔，所述承载柱一端设有与螺栓相适配的内螺纹槽。

6、作为本实用新型进一步的改进，所述承载柱上位于承载槽两侧均设有固定槽，所述固定槽内安装有弹簧，所述弹簧一端连接有限位块。

7、作为本实用新型进一步的改进，所述限位块底部固定连接有滑块，所述承载柱上位于固定槽底部设有供滑块滑动的滑槽。

8、作为本实用新型进一步的改进，所述限位块上表面为倾斜面。

9、本实用新型与现有技术相比的优点在于：本实用新型承载柱通过转轴和轴承与第二立板转动连接，因此可调节承载柱的角度，使承载槽的角度改变，适合不同大小的石墨盘使用，适用性强，同时通过螺栓对承载柱进行紧固使其固定，提高了承载柱的稳定性，同时承载槽两侧均通过夹持组件对石墨盘进行夹持固定，提高了石墨盘的稳定性，避免倾倒的情况发生，实用性强。

技术特征：

1.一种石墨盘治具，包括第一立板(1)和第二立板(2)，其特征在于：所述第一立板(1)和第二立板(2)底部均固定连接有支撑板(3)，所述第一立板(1)和第二立板(2)之间通过多个承载柱(4)连接，所述承载柱(4)上设有承载石磨盘(5)的多个承载槽(6)，所述承载柱(4)上位于承载槽(6)两侧均设有夹持组件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种石墨盘治具，其特征在于：所述承载柱(4)一端固定连接有转轴(8)，所述转轴(8)一端通过轴承(9)与第二立板(2)转动连接，所述第二立板(2)上设有供轴承(9)安装的轴承槽。

3.根据权利要求1所述的一种石墨盘治具，其特征在于：所述承载柱(4)通过螺栓(10)与第一立板(1)紧固连接，所述螺栓(10)贯穿通过第一立板(1)且与承载柱(4)螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种石墨盘治具，其特征在于：所述第一立板(1)上设有供螺栓(10)通过的通孔，所述承载柱(4)一端设有与螺栓(10)相适配的内螺纹槽(11)。

5.根据权利要求1所述的一种石墨盘治具，其特征在于：所述承载柱(4)上位于承载槽(6)两侧均设有固定槽(7.1)，所述固定槽(7.1)内安装有弹簧(7.2)，所述弹簧(7.2)一端连接有限位块(7.3)。

6.根据权利要求5所述的一种石墨盘治具，其特征在于：所述限位块(7.3)底部固定连接有滑块(7.4)，所述承载柱(4)上位于固定槽(7.1)底部设有供滑块(7.4)滑动的滑槽(7.5)。

7.根据权利要求6所述的一种石墨盘治具，其特征在于：所述限位块(7.3)上表面为倾斜面。

技术总结
本技术涉及半导体加工技术领域，具体是指一种石墨盘治具。包括第一立板和第二立板，第一立板和第二立板底部均固定连接有支撑板，第一立板和第二立板之间通过多个承载柱连接，承载柱上设有承载石磨盘的多个承载槽，承载柱上位于承载槽两侧均设有夹持组件。本技术的目的是提供一种石墨盘治具，可适用于不同型号的石墨盘使用，且稳定性较好。

技术研发人员：尤金金,吴楚葵
受?；さ募际跏褂谜撸?/b>东莞市恒芯碳素有限公司
技术研发日：20231010
技术公布日：2024/5/6