一种气体供应系统加热装置的制作方法

本技术涉及的是一种气体供应系统加热装置，具体涉及一种用于半导体生产用特种气体供应系统的加热装置。

背景技术：

1、在半导体生产用的特种气体供应系统中，有部分气体供应系统需要对钢瓶输出气体进行加热，以增加蒸发量和管道伴热输送，特别是在大流量气体输送中，在气体减压过程中，由于节流效应都会产生冷却作用，会导致气体温度大幅下降甚至液化，这样会导致气体供应流量不足和管件由于低温导致损坏。

2、现有技术一般采用的设计如图1所示，（1）对气体进行两级调压阀调压，减小节流效应；（2）对两级调压阀前面的管道进行电加热，通过接触传导方式将热量传导给气体，但是采用的传统接触式电阻加热会导致功率密度低，存在热传导损失大、加热效率低和增加气体设备使用成本的缺陷。

技术实现思路

1、本实用新型提出的是一种气体供应系统加热装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，

2、本实用新型的技术解决方案：一种气体供应系统加热装置，在现有气体供应系统增加双通道电磁感应加热器，通过电磁感应加热原理使加热器内部的气体流通的管道表面形成感应电流后发热，从而对管道内气体加热温度进行精确控制，进而提升整个气体供应系统的使用性能和可靠性，降低气体设备的使用成本。

3、具体的，一种气体供应系统加热装置，其结构包括气瓶和一端与气瓶连通的a气体管道，a气体管道上依次设有第一调节阀和第一气动阀，a气体管道另一端连通磁感应加热器的第一气体接口，磁感应加热器的第二气体接口通过依次设有调压阀、隔离阀和单向阀的管道连通磁感应加热器的第三气体接口，磁感应加热器的第四气体接口通过依次设有第二气动阀和第二调节阀的管道外接用气设备，第一气体接口和第二气体接口以及第三气体接口和第四气体接口为磁感应加热器中两条气体通道的两端气体进出口。在只采用一级调压阀调压情况下，也可保证气体调压后温度不降低、输送压力稳定，减少一组减压阀组件可降低总体使用成本。

4、优选的，所述的磁感应加热器包括壳体和设置在壳体一端的接线盒，壳体内设有个平行的螺旋加热管，螺旋加热管连接接线盒，每个螺旋加热管套设在一b气体管道外侧，壳体与螺旋加热管之间设保温材料，其中一b气体管道两端分别连接第一气体接口和第二气体接口，另一b气体管道两端分别连接第三气体接口和第四气体接口。

5、本实用新型的优点：（1）高压大流量气体供应在只采用一级调压阀调压情况下，可保证气体调压后温度不降低、输送压力稳定，同时可减少一组减压阀组件，从而降低总体使用成本；

6、（2）可保证管路和阀件在气体温度稳定环境下运行，提高管路和阀件的使用性能和可靠性。

技术特征：

1.一种气体供应系统加热装置，其结构包括气瓶（1）和一端与气瓶（1）连通的a气体管道（2），其特征在于，所述的a气体管道（2）上依次设有第一调节阀（3）和第一气动阀（4），a气体管道（2）另一端连通磁感应加热器（11）的第一气体接口（111），磁感应加热器（11）的第二气体接口（112）通过依次设有调压阀（17）、隔离阀（18）和单向阀（19）的管道连通磁感应加热器（11）的第三气体接口（113），磁感应加热器（11）的第四气体接口（114）通过依次设有第二气动阀（9）和第二调节阀（10）的管道外接用气设备，第一气体接口（111）和第二气体接口（112）以及第三气体接口（113）和第四气体接口（114）为磁感应加热器（11）中两条气体通道的两端气体进出口。

2.如权利要求1所述的一种气体供应系统加热装置，其特征在于，所述的磁感应加热器（11）包括壳体（12）和设置在壳体（12）一端的接线盒（13），壳体（12）内设有2个平行的螺旋加热管（15），螺旋加热管（15）连接接线盒（13），每个螺旋加热管（15）套设在一b气体管道（16）外侧，壳体（12）与螺旋加热管（15）之间设保温材料（14），其中一b气体管道（16）两端分别连接第一气体接口（111）和第二气体接口（112），另一b气体管道（16）两端分别连接第三气体接口（113）和第四气体接口（114）。

技术总结
本技术是一种气体供应系统加热装置，在现有气体供应系统增加双通道电磁感应加热器，通过电磁感应加热原理使加热器内部的气体流通的管道表面形成感应电流后发热，从而对管道内气体加热温度进行精确控制，进而提升整个气体供应系统的使用性能和可靠性，降低气体设备的使用成本。本技术的优点：（1）高压大流量气体供应在只采用一级调压阀调压情况下，可保证气体调压后温度不降低、输送压力稳定，同时可减少一组减压阀组件，从而降低总体使用成本；（2）可保证管路和阀件在气体温度稳定环境下运行，提高管路和阀件的使用性能和可靠性。

技术研发人员：晏青松,梁诚哲,陈志佳,王凯,华海洲,张炜
受?；さ募际跏褂谜撸?/b>中电智维（上海）科技有限公司
技术研发日：20230714
技术公布日：2024/4/24