EBAPS器件测试用调焦镜头夹具测试装置的制作方法

本申请涉及数字化微光器件，特别是一种ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置。

背景技术：

1、电子轰击型有源像素传感器(electron?bombarded?active?pixel?sensor，ebaps)具有高增益、快响应、低功耗和低成本的优点。现有ebaps芯片主要依赖进口，为加快国产化ebaps器件广泛开展相关研究，现有ebaps芯片生产完成后需要进行测试，以确定其性能，并得到数据反馈以便进行后续进一步研究使用。

2、但现有ebaps器件测试时，ebaps器件插接于机芯?？楹?，用于成像必须的镜头只能通过垫片固定，一旦测试过程中成像不清晰需要调焦时，无法准确或微量的移动镜头，导致无法获得清洗的测试图像，严重影响测试的正常进行，同时测试过程中由于镜头无法与ebaps器件固定连接，一旦需要调焦时，镜头滚动导致破损，无法对器件进行相关测试。

3、现有其他能适用于成像芯片器件的检测夹具，一方面无法夹持ebaps器件，另一方面无法根据检测需要进行调焦成像，导致检测无法进行。

4、公开于背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域普通技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本申请针对上述技术问题提供了一种ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，通过综合考虑了机械结构和光学传输特性的夹具，实现ebaps器件与镜头调焦连接，在稳度连接镜头与器件的同时焦距可在一定范围内精确调节，提高测试结果准确性。该测试装置具有安装和拆卸方便，调焦准确，接线简单的优点。

2、本申请提供了一种ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，包括：接口、压片、机芯?？?、镜头、处理器、分辨力靶板；

3、接口包括：框体和调焦筒；待测试ebaps器件容纳设置于框体内；框体的另一端面上设置调焦筒；镜头与调焦筒螺纹连接；调焦时，镜头转动伸出或缩回；

4、压片上开设通孔并盖设抵接于ebaps器件上；压片与接口端面拆卸连接；

5、ebaps器件端面上的插针穿过通孔并与机芯?？椴褰?；处理器与机芯?？榈缌?；镜头正对分辨力靶板成像设置。

6、优选地，包括：橡胶垫片；橡胶垫片夹设于接口与ebaps器件的阴极透镜端面之间。

7、优选地，调焦筒11高度为5～35mm；镜头移动距离为±3mm。

8、优选地，腔体内尺寸比ebaps器件的响应尺寸整体大

9、0.05mm～0.5mm。

10、优选地，橡胶垫片厚度为0.02mm～5mm；橡胶垫片的尺寸整体比接口腔体内腔小0.1mm～2mm；橡胶垫片的橡胶硬度为邵氏70～90。

11、优选地，压片包括：片体、抵接边；片体上设置通孔；ebaps器件的插针伸出片体通孔设置；抵接边设置于片体一侧面上，并环绕通孔设置；抵接边与ebaps器件抵接。

12、优选地，抵接边的高度≤5mm；片体的尺寸与框体的环面相同。

13、优选地，包括：支架、夹持部；支架顶部设置夹持部；ebaps器件安装于夹具内后安装于夹持部上。

14、本申请的另一方面还提供了一种ebaps器件测试方法，采用如上述的夹具固定ebaps器件，包括以下步骤：

15、步骤s1：在接头的腔体内放入橡胶垫片后放入ebaps器件，盖上压片后，压片的抵接边抵接于ebaps器件端面上后，通过螺栓拆卸连接并压紧压片与接头；

16、步骤s2：在接头的调焦筒上螺纹连接镜头得到组装后的夹具，将ebaps器件的插针插入机芯?？榈缏钒?，电连接机芯?？橛氪砥?，将组装后的夹具放入夹持部中夹持后，调整支架高度后进行光成像调试后进行电子轰击测试；

17、步骤s3：进行电子轰击测试时，根据分辨力靶板上成像清晰度转动调整镜头至在分辨力靶板上获得清晰成像后，通过处理器获得清晰成像并存储处理。

18、本申请能产生的有益效果包括：

19、1)本申请所提供的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，该夹具能有效夹持ebaps器件，且在测试过程中根据图像清晰程度实现有效调焦，调焦精度可达0.05mm。有效实现对ebaps器件性能的准确测量，提高测量结果准确性。

20、2)本申请所提供的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，采用该夹具可稳度固定测试中的器件，且能准确调整焦距，获得测试所需的清晰图像，有效提高测试结果准确性。

技术特征：

1.一种ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，其特征在于，包括：接口、压片、机芯?？?、镜头、处理器、分辨力靶板；

2.根据权利要求1所述的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，其特征在于，包括：橡胶垫片；橡胶垫片夹设于接口与ebaps器件的阴极透镜端面之间。

3.根据权利要求1所述的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，其特征在于，调焦筒11高度为5～35mm；镜头移动距离为±3mm。

4.根据权利要求1所述的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，其特征在于，腔体内尺寸比ebaps器件的响应尺寸整体大0.05mm～0.5mm。

5.根据权利要求2所述的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，其特征在于，橡胶垫片厚度为0.02mm～5mm；橡胶垫片的尺寸整体比接口腔体内腔小0.1mm～2mm；橡胶垫片的橡胶硬度为邵氏70～90。

6.根据权利要求1所述的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，其特征在于，压片包括：片体、抵接边；片体上设置通孔；ebaps器件的插针伸出片体通孔设置；抵接边设置于片体一侧面上，并环绕通孔设置；抵接边与ebaps器件抵接。

7.根据权利要求6所述的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，其特征在于，抵接边的高度≤5mm；片体的尺寸与框体的环面相同。

8.根据权利要求1所述的ebaps器件测试用调焦镜头夹具测试装置，其特征在于，包括：支架、夹持部；支架顶部设置夹持部；ebaps器件安装于夹具内后安装于夹持部上。

9.一种ebaps器件测试方法，其特征在于，采用如权利要求1～8中任一项所述的夹具固定ebaps器件，包括以下步骤：

技术总结
本申请公开了一种EBAPS器件测试用调焦镜头夹具测试装置，包括：接口、压片、机芯?？?、镜头、处理器、分辨力靶板；接口包括：框体和调焦筒；待测试EBAPS器件容纳设置于框体内；框体的另一端面上设置调焦筒；镜头与调焦筒螺纹连接；调焦时，镜头转动伸出或缩回；压片上开设通孔并盖设抵接于EBAPS器件上；压片与接口端面拆卸连接。该测试装置具有安装和拆卸方便，调焦准确，接线简单的优点。

技术研发人员：张新,李俊祺,刘震,赵希炜,庞红丽,杨士奇,李娇娇,李东泽,张春先,周凯超,李顺平,褚祝军,宋林伟
受?；さ募际跏褂谜撸?/b>北方夜视技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/22