技术编号：37686237
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种惯性传感器的调频工艺，具体地涉及一种高性能惯性传感器的工艺制备流程中在线调频方法。背景技术、各种各样的应用，尤其是惯性导航系统，制导系统和航空数据测量系统等航空航天应用，都需要具有接近微重力分辨率，高灵敏度，高线性度和低偏置漂移的高性能加速度计和陀螺仪。、其中，陀螺结构一般分为驱动和敏感二个质量?？?，敏感?？榈钠德视肭？榈钠德室话慊嵊幸坏阄⑿〔畋?，这个差别对于传感器性能有很大的关联，在不同的工作模式下需要调整到不同的频差。、现有技术中，有些方案采用电压调频的方式进行调频操...
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