基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极及其制备方法

文档序号:37721900发布日期:2024-04-23 11:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于pedot:pss界面的柔性透明神经电极的制备方法,其特征在于,以pedot:pss(聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚苯乙烯磺酸)作为记录和传输神经电信号的功能材料,使用薄层绝缘聚合物作为pedot:pss干法刻蚀的掩膜层,实现大面积pedot:pss的图形化,使用面向硅片的反向工艺,实现无损化pedot:pss柔性透明神经电极(100)的制备,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的基于pedot:pss界面的柔性透明神经电极的制备方法,其特征在于,所述pedot:pss预配置溶液由多种材料按比例配置,经过搅拌、超声处理、静置后得到,所述pedot:pss预配置溶液包括:

3.根据权利要求1或2所述的基于pedot:pss界面的柔性透明神经电极的制备方法,其特征在于,

4.一种基于pedot:pss界面的柔性透明神经电极,其特征在于,所述柔性透明神经电极(100)包括:

5.根据权利要求4所述的基于pedot:pss界面的柔性透明神经电极,其特征在于,所述底层绝缘层(1)和所述顶层绝缘层(2)采用相同的透明材料,且所述透明材料包括聚对二甲苯或聚酰亚胺,以使所述主要界面区透明;


技术总结
本发明提供一种基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极及其制备方法,可以应用于神经科学领域。其特征在于以PEDOT:PSS(聚(3,4?乙烯二氧噻吩):聚苯乙烯磺酸)作为记录和传输神经电信号的功能材料,使用薄层绝缘聚合物作为PEDOT:PSS干法刻蚀的掩膜层,实现大面积PEDOT:PSS的图形化,使用面向硅片的反向工艺,实现无损化PEDOT:PSS柔性透明神经电极的大批量制备。本发明提供的制备方法具有工艺简单、易操作、可大批量实现等优点。同时,该基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极分为主要界面区、中间导线区和电极焊接区,主要界面区均使用柔性透明材料,可应用于需要与光成像集成的电生理系统中,具有较好的记录性能和机械性能,便于长期在生物体内进行神经电信号记录。

技术研发人员:裴为华,袁苗,孙瑀阳
受?;さ募际跏褂谜撸?/b>中国科学院半导体研究所
技术研发日:
技术公布日:2024/4/22
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